石墨方舟异常情况处理和日常维护等

石墨方舟异常情况处理和日常维护等:

1，批次与批次之间不满石墨方舟如何？不满石墨方舟会有什么结果？上一批不满一石墨方舟用下一批次填满，并分别记录区分开来。不满石墨方舟进行工艺，没有硅片的石墨方舟片上会沉积SIN膜，石墨石墨方舟物理性质下降，会产生红片，色差片等。

2，一区二区流程卡如何对接，数量如何确认？刻蚀通过传送箱流入的合格品，当场清点数量即可。

3，石墨石墨方舟工艺要求的清洗周期、刻蚀周期？预处理的方式有几种不同？预处理不合格返工片多如何处理？石墨石墨方舟运行120-150次需刻蚀，刻蚀满6次需清洗预处理方式预处理方式：NEW BOAT PRZ 新石墨方舟插上硅片预处理AFTETCH PRZ 石墨方舟刻蚀后没插硅片预处理AFTETCH PRZ 石墨方舟刻蚀后插硅片预处理预处理后返工片多，加工艺时间，若还不行，需进行拆洗。

4，刻蚀、清洗、预处理的整个流程？当石墨石墨方舟运行120-150次：满6次刻蚀-拆洗-烘干-预处理不满6次刻蚀-刻蚀-预处理

5，色差片产生的几种原因？清洗、刻蚀工序减薄量不稳定石墨石墨方舟物理性质下降（SIN沉积过多）镀膜时间不同微波峰值不稳定（设备原因）

6，色斑批片产生的原因？硅片表面清洗不干净扩散间偏磷酸滴漏清洗、刻蚀、风刀没吹干或堵塞

7，检验标准？（色差、色斑片的判定标准）以QC为准

8，每台机的石墨石墨方舟配置标准？小车的配置是怎样的？每台机石墨石墨方舟标准配置7个，为正常轮转生产，小车配置4个。

9，为什么会出现石墨方舟浆分离？石墨石墨方舟电极放反，SLS浆在炉管中较长时间未出，导致变形，检查要到位，及时观察。

10，镀膜的整个过程。工艺开始-充氮-进石墨方舟-浆降至低位-浆在低位退出-管内抽真空并进行管内压力测试-通过高频电源用NH3预清理和检查-清洗管路-测漏-恒温-高频电源用NH3预清理-镀膜-结束镀膜-抽真空及测试压力-清洗管路-将管内剩余NH3、SH4抽走、防止与空气接触爆炸-充氮-浆在低位进入炉内-SLS移至高位-退石墨方舟-结束工艺

11，备用石墨方舟的管理。一条线总共20个石墨方舟，14个生产，6个备用，备用石墨方舟不使用时应保存在相应的石墨石墨方舟柜内。

12，PECVD每条线每个班要求的产量，在制品要求的上下限，工艺允许在制品的等待时间是多长。另外要求刻蚀保证的在制品数量是多少。产量13500，留丝网在制品4000PCS左右，刻蚀流入在制品1800PCS左右。

13，工艺重点参数膜厚： 100nm 折射率： 2.0镀膜的好坏，一般情况下是根据膜的颜色来判断的。正常膜面为淡蓝色，当膜偏厚时颜色会发白，偏薄时颜色会发红因PECVD制程只能通过调节时间来控制膜厚，所以膜面质量的改善很大一部分需要从前站来改善。