有一种解决PERC电池EL下舟印的方法

1.、一种解决PERC电池EL下石墨舟印的方法，其特征在于，在石墨石墨舟长时间待机时运行烘石墨舟工艺，该方法包括以下步骤：
步骤(1)进石墨舟:温度500-550℃,压力10000mTor;

步骤(②)升温:时间700-800S,温度500--550℃,压力10000mTor;

步骤(3)第一次抽真空：时间100-200S，温度500-550℃，压力0mTor;

步骤(4）测漏:时间10-50S,温度500-550℃,压力10000 mTor;

步骤(5)第二次抽真空：时间10-100S，温度500-550℃，压力0mTor；

步骤(6)预处理：时间10-100S，温度500-550℃，硅烷1000-2000sccm，氨气5000-8000sccm,压力1000-2000mTor;

步骤(⑦）淀积：时间500-1000S，温度500-550℃，硅烷1000-2000sccm，氨气50008000sccm,压力1000-2000mTor,功率8000-15000W,脉冲开30-80mS,脉冲关500一1000mS;

步骤(⑧)第三次抽真空：时间10-100S，温度400-500℃，压力0mTor;

步骤(9)第一次吹扫：时间10-100S，温度400-500℃，氮气10000-20000sccm，压力10000mTor;

步骤(10)第四次抽真空：时间10-100S，温度400-500℃，压力0 mTor；步骤(11)第二次吹扫：时间10-100S，温度400-500℃，氮气10000-20000sccm，压力10000mTor;

步骤(12)出石墨舟:温度500-550℃,压力10000 mTor。