一种PECVD石墨匣钵的清洗方法

一种PECVD石墨匣钵的清洗方法 ：

提供一种PECVD石墨匣钵的清洗方法，其包括以下步骤：配液：在清洗槽内配置氢氟酸溶液；清洗：将石墨匣钵整体放入氢氟酸溶液内，浸泡时间为5‑7小时，浸泡同时开启鼓泡；

抽液：待石墨匣钵整体浸泡5‑7小时后，将氢氟酸溶液抽出；

第一次喷淋：用去离子水对石墨匣钵整体进行喷淋，喷淋时间设为1‑10分钟；水洗鼓泡：使用去离子水对已进行喷淋的石墨匣钵整体进行溢流1‑2小时，溢流的同时开启鼓泡；吹扫：用气XX吹扫石墨匣钵表面；

烘干：将经过气XX吹扫后的石墨匣钵放入烘箱中。

本技术提供的清洗方法中，对石墨匣钵整体进行清洗，减少拆卸和安装石墨匣钵的时间，并缩短石墨匣钵清洗时间，提高现有PECVD工序产能，不影响PECVD工艺的色差。