石墨槽舟清洗及使用维护槽舟的清洗
发布时间:2021-08-30 16:02:23
石墨槽舟清洗及使用维护槽舟的清洗:
1:新槽舟在第一次使用前建议使用去离子水+10%(体积比)的氢氟酸进行清洗约3~5小时;再用去离子水进行漂洗8~12小时;直到确认槽舟体没有酸性成分,可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的槽舟,以确认清洗结果。然后按照要求进行烘干
2:使用后石墨槽舟的清洗:SHF的石墨槽舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。
建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液,分三轮次来清洗,每次4-5小时,并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡,加半小时左右的清洗:;
注意:鼓泡不建议直接使用空气作为气源。酸洗后用纯水漂洗10小时左右,并确认槽舟已经彻底清洗干净,请在清洗结束后检查槽舟的表面、石墨卡点和槽舟片结合处、以及其它部位是否还有氮化硅的残余。然后按照要求进行烘干。