石墨匣钵饱和双层膜结构及镀膜工艺和石墨匣钵

石墨匣钵饱和双层膜结构及镀膜工艺和石墨匣钵：

本技术提供了一种石墨匣钵饱和双层膜结构及镀膜工艺和石墨匣钵，石墨匣钵饱和双层膜结构包括沉积在所述石墨匣钵上的耐腐蚀膜和沉积在所述耐腐蚀膜上的钝化膜。

本技术的一种石墨匣钵双层膜结构，包括位于内侧的耐腐蚀膜层和位于外侧的钝化膜，耐腐蚀膜层具有绝缘、坚硬和致密的特性，在后续石墨匣钵的分拆、酸洗、烘干和再组装时，由于其耐腐蚀特性将保留在石墨匣钵片表面，

防止石墨匣钵片被进一步腐蚀和氧化，保护石墨匣钵片；再次进行饱和工艺时，只需镀一层较薄钝化膜层即可形成较好饱和效果，

能够形成对石墨匣钵的长效保护，使石墨匣钵始终保持良好地镀膜均匀性。本技术的镀膜工艺能够有效减少总体石墨匣钵饱和工艺时间、防止石墨匣钵损耗和获得更好的长期镀膜均匀性。