太阳能硅片镀膜用石墨匣钵片及石墨匣钵
发布时间:2021-08-30 15:56:27
太阳能硅片镀膜用石墨匣钵片及石墨匣钵:
本技术提供了一种太阳能硅片镀膜用石墨匣钵片及石墨匣钵,通过在石墨匣钵片上形成有若干贯穿石墨匣钵片的孔洞,
因而可实现在太阳能硅片在进行真空镀膜过程中通过所述孔洞形成对背靠背固定在石墨匣钵片上的太阳能硅片四个角进行吸附,从而使石墨匣钵片上的太阳能硅片的四个角牢固的吸附在石墨匣钵片上,
有效地避免了太阳能硅片在镀膜过程中由于石墨匣钵片表面和卡点存在部分磨损而造成的固定在其上的太阳能硅片表面的不平整甚至部分翘起,
进而导致的边角色差和绕射现象,为硅片形成均匀一致的膜层提供良好的保障。